Pull to refresh

В НЦФМ анонсировали альтернативу литографам ASML

Manufacture and development of electronics *CPU

Выступая на форуме «АТОМЭКСПО-2022», научный руководитель Национального центра физики и математики (НЦФМ), бывший президент РАН Александр Сергеев рассказал о перспективах создания в России собственных рентгеновских литографов. В качестве отправной точки Сергеев взял литограф NXE:3400B с длиной волны 13,5 нм производства ASML. Коснувшись принципа работы, Александр Михайлович пояснил, что в этой установке лазер испаряет каплю олова, в результате чего получается плазма, рентгеновское излучение которой используется для фотолитографии.

Российскую альтернативу рентгеновскому литографу ASML академик Сергеев предлагает разработать на основе трех отечественных достижений. Первое - планируется создать лазер, который будет иметь большую среднюю мощность, чем CO2-аналог, также предполагается использовать отличное от олова рабочее тело, которое, как сообщил Сергеев, разрабатывается РФЯЦ-ВНИИЭФ. Для фокусировки излучения будут использоваться рентгеновские зеркала, разработанные в Институте прикладной физики РАН и Федеральном ядерном центре в Сарове.

По словам Сергеева, объединение всех этих разработок в рамках НЦФМ при участии «РОСАТОМА» позволит в течение 2-3 лет разработать и создать отечественную литографическую систему на длине волны 13,5 нм с мощностью, в разы превосходящей аналогичную установку ASML.

Tags:
Hubs:
Total votes 29: ↑24 and ↓5 +19
Views 7.8K
Comments 74
Comments Comments 74

Posts