Хорошо, напишу ясным по белому: вы неправы сразу по нескольким пунктам их предпосылкам и выводам из них. Но наш диалог уже уходит в сторону за рамки темы поста в область субъективного восприятия мира и истории. К сожалению, я не готов продолжать его втуда дальше. А посты про космос и корабли вы действительно создали интересные.
стандартные оптические эталоны и питы у носителей слегка отличаются в размерности, т.е. в сложности от рабочих масок, что, в принципе, не исключает подхода, но вынуждает дополнительно пользоваться многими хитростями в процессе литографии. Вот так, просто, повторить эти хитрости, да еще все вместе, дома можно лишь чисто умозрительно.
не угадали. Я просто в курсе цен за каждую девятку после запятой, а также знаю как их, девятки эти, получают. Но это — неважно. Потому -, пожалуйста, продолжайте!
давайте разберёмся: вам шашечки или ехать? т.е. прочное тело или удобная камера? К примеру, наша установка из стандартных т.е. дешёвых нерж. труб со сред. толщиной 2 мм регулярно выживает при 1е-6 мбар. При желании можно было её и из «алюминия» сотворить, но при учёте других аспектов решили придержаться классики.
Не пойдет: одно дело бутылки там или чтоб объем имплозануло, а другое — регуляно проветриваемая/вакуумируемая рабочая камера. Нагревом обычно удаляют растворённый газ из металлических деталией вак. тракта, но не для откачки. Даже в криостатах объем сначала откачивают, а потом вымораживают. Геттеры, опять же, используют для других случаев: на один раз — для запаянных объёмов, а регулярно — для сверхвысокого вакуума.
1. Какие энергии (элВ) нужны напыления Ал на кремний.
> Al легко и парится и пылится магнетроном
2. Сойдет ли Ал2О3 в качестве межслойного изолятора (толщина, потребная энергия ионов О)
> а для какого слоя на какой подложке?
Для нанесения атомных слоев AlOx, которым многое по-барабану используют АЛД процесс с триметилалюминием и водным паром. Но не всякая структура такую баню переживает. Черт — деталях. Там еще и бабахнуть может.
3. Все-таки, что с возможностью и качеством фокусировки ионного пучка
> С этим всё замечательно, но в масс-спектрометрах. Парить некоторые соединениия с приятным латеральным соотношением можно совместной сублимацией. Но это — ультравысокий вакуум: оно вам надо?
4. Какие еще засады? Например, агдезия к кремнию, отжиг, защита от ренгена
> А рентген то вам зачем? Адгезиия и дифузия Al на Si — стандартные тех.процессы 70х. Об этом в книжках для студентов пишут, а у меня конь в вакууме надувается.
нет кармы молча согласиться. :) Полностью согасен с первыми двумя и последним абзацами. Но конец третьего — ой! Вы точно уверены, что ваш окисел алюминия сапфиром был в плёнке? А кварц легко пылится и магнетроном в аргоне — проверено. Но вот оксиды алюминия в магнетронном напылении — очень хитрая штука.
Понятно. И конечно понятно желание использовать имеемое. Все же, для меня это выглядит возведением дома вокруг дерева: фокус интереса смещен не на стрительство дома. И в подавляющем числе моих конструкций халявные решения становились вобщем отнюдь не выгодными решениями. В любом случае, вы можете учесть и заложить в вашу конструкцию потенциал модернизации для времени после испытаний. Если, конечно, у вас сразу или после пары запусков место уплотнения колокола не потечёт. Ведь плоский стандартный фланец вверху камеры регулярно уплотнять будет много легче и дешевле: в вашей конструкции же еще и пыль др. фракции будут на нижний уплотнитель попадать.
Генераторы и магнетроны обычно расчитанны на 13,56 MHz и, если траткт правильно собран, то «свистеть» не должно. С неэкранированным стеклянным куполом RF излучение конечно же будет. Также как и с микроволновкой. Так, что камеру лучше из нержавейки исполнить. Больше неудобства доставляет факт, что импеданс тракта динамический и требует подстройки, как минимум, для зажигания плазмы.
Меня удивляет ваше желание использовать стеклянный колокол. Дело, конечно ваше, но, исходя из своего опыта использования похожих установок, считаю цилиндрическую камеру из трубы с боковым фланцем для плоского окна много удобней и дешевле. Так и подложку крепить удобней, и потенциал приложить (если нужно), и экраны в камеру ставить и очищать камеру с окном. Да все удобней будет, кроме обслуживания магнетрона. Тут хитрости нужны, но они — известны.
для того, чтобы засечь это эффект, нужны очень большие плотности энергии. Как измерительная методика — согласен, утилитарное применение мне представить трудно. Давайте прикинем, как была взвана осцилляция атомов: мощность поляризованного когерентного излучения: 4Е-3 Дж/см^2 / 3Е-13 с = 13,3Е+9 Вт/см^2 и почти ионизирующие импульсы с плотностью напряжения с 3Е+9 В/см в исследованном образце. У меня вопрос: как он у них не сублимировался или не запрыгал?
> Al легко и парится и пылится магнетроном
2. Сойдет ли Ал2О3 в качестве межслойного изолятора (толщина, потребная энергия ионов О)
> а для какого слоя на какой подложке?
Для нанесения атомных слоев AlOx, которым многое по-барабану используют АЛД процесс с триметилалюминием и водным паром. Но не всякая структура такую баню переживает. Черт — деталях. Там еще и бабахнуть может.
3. Все-таки, что с возможностью и качеством фокусировки ионного пучка
> С этим всё замечательно, но в масс-спектрометрах. Парить некоторые соединениия с приятным латеральным соотношением можно совместной сублимацией. Но это — ультравысокий вакуум: оно вам надо?
4. Какие еще засады? Например, агдезия к кремнию, отжиг, защита от ренгена
> А рентген то вам зачем? Адгезиия и дифузия Al на Si — стандартные тех.процессы 70х. Об этом в книжках для студентов пишут, а у меня конь в вакууме надувается.
написать можно всё, что угодно. Если коротко: или они, или вы сугубо неправы.
> всего лишь по одной на каждую розетку
Кипите ПЛИС и радуйтесь жизни!
> например, на собственный двор, взять лопату и копнуть
пожалуйста, продолжайте!