Комментарии 1
Эта работа показала, что даже без сложных изменений в оборудовании можно добиться огромного эффекта. Достаточно скорректировать температуру постэкспозиционного отжига — и количество дефектов в DUV снижается почти на 99%.
Это и так было известно, что температуру отжига нужно подбирать. Китайские специалисты придумали как оценивать процесс отжига с помощью томографии, чтобы подбирать температуру максимально эффективно.
Зарегистрируйтесь на Хабре, чтобы оставить комментарий
Как китайцы почти убрали дефекты в DUV, но сломали EUV