Как стать автором
Обновить
  • по релевантности
  • по времени
  • по рейтингу

Вероятное будущее производства микроэлектроники: безмасочная многолучевая электронная литография от Mapper Lithography

IT-инфраструктура *
Кто-то вероятно уже слышал о том, что Роснано в конце 2012-го года инвестировала в компанию-разработчика оборудования электронной литографии Mapper Lithography. Что и как они делают, спасет ли это отечественную микроэлектронную промышленность — узнаем в этой статье.

Как мы помним, производство микросхем подразумевает последовательную обработку полупроводниковой пластины через экспонированный слой фоторезиста, изображение на котором обычно формируется оптическим способом: «сканер» через уменьшающий объектив проецирует изображение фотошаблона.

Этот подход имеет ряд недостатков: необходимость изготовления фотошаблонов для каждой новой микросхемы (опустим тут возможность группового производства) — приводит к тому, что продукты обязаны быть крупносерийными, миллионы штук, чтобы окупать стоимость фотошаблонов (до нескольких миллионов $ на каждый тип микросхемы). И с другой стороны — длина волны света ограничивает минимальные размер рисуемых элементов. Сейчас мировая промышленность уже вплотную подошла к теоретическому пределу разрешения оптической литографии: ~35nm для сканеров NA=1.35 с ArF лазерами на длине волны 193нм и ~18нм для литографии на жестком ультрафиолете EUV (однако в серийном производстве это пока не используется).

Есть и альтернатива: экспонировать фоторезист не светом, а электронным пучком — получается электронная литография. Электронный пучок можно фокусировать в точку гораздо меньшего размера, даже 1нм не проблема, но появляются и новые проблемы.

На фотографии — симуляция попадания электрона в электронрезист, демонстрирующая проблему с разрешением электронрезиста из-за рассеяния электронов.
Читать дальше →
Всего голосов 53: ↑53 и ↓0 +53
Просмотры 39K
Комментарии 50

Коммерческая нанотехнология

IT-инфраструктура *
Из песочницы

Введение


На данном форуме существует замечательный интерес к современной полупроводниковой (п/п) технологии и попытки разобраться, на каком этапе находится зеленоградский Микрон, российская кремниевая микроэлектроника, возможно ли «догнать и перегнать» запад в этой области хайтека (нам во многом понравилась статья habrahabr.ru/post/218171, мы продолжаем рассуждения на эту тему, даем некоторые ответы и уточнения на изложенные в ней сведения). В этом тексте мы приведем мнение человека, который 20 лет работал в американской п/п индустрии и несколько лет назад пытался вернуться в РФ и поделиться своим опытом и знаниями с российскими коллегами. Важно то, что он хорошо знает обе стороны и российскую, и американскую.
Читать дальше →
Всего голосов 44: ↑39 и ↓5 +34
Просмотры 14K
Комментарии 10

This is Science: 3D оптическая печать переезжает на микроуровень

Энергия и элементы питания 3D-принтеры Физика


Бум последних 5-7 лет – это различные виды 3D печати: будь то печать необходимых предметов в домашних условиях, печать человеческих органов или даже целых домов. Но что, если требуется напечатать конкретный материал, да ещё и в микромасштабах?
Даёшь 3D-печать на микроуровне
Всего голосов 29: ↑28 и ↓1 +27
Просмотры 15K
Комментарии 2

This is Science: 3D электронная литография в массы

Нанотехнологии Физика


Электронной литографией нынче не удивишь никого, ей пророчат весьма успешное будущее в микроэлектронике. Даже РосНано планирует к закупке электронно-лучевую литографию Mapper. А как на счёт материалов – что станет основой фоторезиста будущего?
Экспонируй меня полностью!
Всего голосов 25: ↑25 и ↓0 +25
Просмотры 11K
Комментарии 10

Гибридные наноантенны — новая платформа для сверхплотной записи информации и создания наноустройств следующего поколения

Блог компании Dronk.Ru Компьютерное железо Нанотехнологии Физика Будущее здесь
Объединенная группа российских физиков разработала концептуально новую платформу на основе гибридных металло-диэлектрических наноантенн, открывающую возможность для эффективного управления светом и сверхплотной записи информации. Новая технология открывает возможности изготовления наночипов для оптических компьютеров следующего поколения и позволяет создавать широкий спектр оптических наноустройств, локализующих, усиливающих и управляющих фотонами света.

image
Подробнее
Всего голосов 10: ↑10 и ↓0 +10
Просмотры 8.1K
Комментарии 11

Ведущие производители чипов присматриваются к фотолитографии в глубоком ультрафиолете

Компьютерное железо Процессоры Будущее здесь
Перевод

EUV-сканер ASML NXE:3300B распечатывает чипы в лаборатории политехнического института SUNY

Даже после того, как вы натянули защитный костюм и проникли в цех Fab 8, его масштаб сложно оценить. Многие ряды высоких машин-«инструментов», занимают большую часть места на фабрике GlobalFoundries стоимостью $12 млрд, построенной в лесу г. Олбани штата Нью-Йорк. Тележки с кремниевыми подложками снуют под потолком по рельсам, проложенным наверху, будто небольшие тележки на американских горках. Если повезёт, то в то время, как вы стоите рядом с инструментом, одна из этих тележек опустится к нему и продвинет подложку к следующему шагу в технологическом процессе, занимающем три месяца. За это время кремниевый диск размером с тарелку превращается в чипы, пригодные для использования в смартфонах, ПК и серверах. Именно так: если вы начнёте делать микропроцессор в первый день нового года, готов он будет к началу весны.
Читать дальше →
Всего голосов 45: ↑43 и ↓2 +41
Просмотры 26K
Комментарии 24

Первая микросхема :)

Физика DIY или Сделай сам Химия Электроника для начинающих
Перевод

Предисловие


Очень рад в подробностях рассказать о своей первой интегральной схеме и поделиться перипетиями этого проекта, которым занимался на протяжении прошлого года. Надеюсь, мой успех вдохновит других и поможет начать революцию в производстве домашних микросхем. Когда я приступил к этому проекту, то понятия не имел, во что ввязался, но в итоге узнал больше, чем когда-либо думал, о физике, химии, оптике, электронике и многих других областях.

Кроме того, мои усилия сопровождались лишь самыми положительными отзывами и поддержкой со всего мира. Искренне благодарен всем, кто мне помогал, давал советы и вдохновлял на этот проект. Особенно моим удивительным родителям, которые не только всегда поддерживают и поощряют меня как только могут, но и предоставили рабочее место и смирились с затратами на электроэнергию… Спасибо!



Без дальнейших церемоний представляю первую интегральную схему (ИС), изготовленную литографическим способом в домашних (гаражных) условиях — PMOS-чип двойного дифференциального усилителя Z1.
Читать дальше →
Всего голосов 146: ↑146 и ↓0 +146
Просмотры 69K
Комментарии 167

Как на самом деле делают процессоры? РАЗБОР

Блог компании Droider.Ru Высокая производительность *Производство и разработка электроники *Процессоры
Как создаются современные процессоры? Насколько это сложный и интересный процесс и почему так важна некая Экстремальная УФ-литография? В этот раз мы копнули действительно глубоко и готовы рассказать вам об этой магии технологий. Располагайтесь поудобнее, будет интересно.

Вот вам затравочка — 30-килоВаттный лазер в вакууме стреляет по капле олова и превращает ее в плазму — скажете фантастика?

А мы разберемся как это работает и расскажем об одной компании из Европы, которая стоит тенью за всеми гигантами Apple, AMD, Intel, Qualcomm, Samsung и другими и без нее никаких новых процессоров бы и не было. И нет это, к сожалению, не Чебоксарский завод электроники.


Чтобы понять процесс экстремальной ультрафиолетовой литографии — нам надо для начала понять, что вообще такое фотолитография. Сам процесс по своей сути очень похож на то как печатаются фотографии с пленочных негативов на фотобумагу! Не верите — сейчас все объясним.
Всего голосов 85: ↑80 и ↓5 +75
Просмотры 38K
Комментарии 104

Нанопечатная литография: крылья цикад и лак для ногтей

Блог компании ua-hosting.company Научно-популярное Биотехнологии Нанотехнологии


С точки зрения взаимодействия с жидкостями, грубо говоря, есть два типа материалов: гидрофильные и гидрофобные. Губки для мытья посуды, например, относятся к первой группе, так как отлично впитывают жидкости. Примером вторых могут быть листья многих растений, ибо они отталкивают жидкости. На первый взгляд все достаточно просто, однако более внимательное рассмотрение гидрофобных и гидрофильных материалов указывает на важность наноразмерных поверхностных особенностей, которые и влияют на взаимодействие с водой или другими жидкостями. Ученые из Иллинойсского университета в Урбане-Шампейне (США) создали новый метод литографии, позволяющий получить материал с высокой степенью гидрофобности, вдохновением для которого стали крылья цикад. Почему именно эти насекомые стали фундаментом исследования, в чем особенность новой методики, и насколько удачно искусственный аналог копирует оригинал? Об этом мы узнаем из доклада ученых. Поехали.
Читать дальше →
Всего голосов 23: ↑22 и ↓1 +21
Просмотры 2.9K
Комментарии 5

Сонолитография: акустическая печать микрочастицами

Блог компании ua-hosting.company Научно-популярное Физика Здоровье Химия


Дети, воистину, удивительные создания. Они способны на непонятном для нас, взрослых, уровне воспринимать окружающий мир, превращая даже самые сложные и запутанные законы природы в веселую игру. Стоит показать ребенку, что нанесенный на камешек рисунок потом можно перепечатать с камня на бумагу, как все вокруг становится холстом для шедевра юного художника, от пола и стен, до комнатных растений и домашних питомцев (кто сказал, что нельзя поставить штамп на кота?). За детской шалостью скрывается вполне взрослая техника печати, называемая литографией. За долгие годы существования данной техники она была преобразована в новые форматы с учетом новых технологий: ионно-лучевая, нанопечатная, рентгеновская, ультрафиолетовая и т.д. И вот ученые из университета Бата (город Бат, Великобритания) решили объединить литографию и акустические волны, что позволило им получить контроль над микрочастицами внутри жидкостей. Как именно использовался звук в литографии, какие частицы подвергались воздействию, и что из этого вышло? Ответы на эти вопросы мы найдем в докладе ученых. Поехали.
Всего голосов 21: ↑20 и ↓1 +19
Просмотры 1.7K
Комментарии 2

Магия создания процессоров: травление и осаждение. Разбор

Блог компании Droider.Ru Профессиональная литература Научно-популярное Процессоры
Современное производство процессоров иначе как произведением технологического искусства назвать просто язык не поворачивается. Когда начинаешь разбираться с тем какое количество в нем тонкостей и элегантных технологических решений, то просто взрывается мозг. Сегодня мы вам расскажем о двух важнейших этапах при производстве процессоров, а также объясним что общего между созданием процессоров и ковровыми бомбардировками, зачем нужно греть материалы сфокусированным лучом электронов и как получают металлический пар из самого тугоплавкого металла в мире.



Начнем, как обычно у нас принято, с основ. Как мы уже не раз говорили: транзистор — основа всех процессоров. Но сам по себе одиночный транзистор мало что может. В современных чипах их миллиарды!
Читать дальше →
Всего голосов 14: ↑12 и ↓2 +10
Просмотры 4.9K
Комментарии 20

Вторая микросхема :)

Блог компании Дата-центр «Миран» Производство и разработка электроники *DIY или Сделай сам Химия Электроника для начинающих
Перевод
В 2018 году у себя гараже я изготовил первую интегральную схему, это был двойной дифференциальный усилитель Z1. Тогда я заканчивал школу, а сейчас уже выпускаюсь из колледжа. Очевидно, пришло время улучшить производственный процесс.



Z1 с шестью транзисторами представлял эксперимент для отработки всех процессов и проверки оборудования. В теперешнем Z2 уже 100 транзисторов c поликремниевым затвором 10 мкм — та же технология, что и в первом процессоре Intel. Здесь просто массив 10×10 транзисторов для тестирования, определения характеристик и настройки процесса, но это огромный шаг к более продвинутым самодельным чипам. В Intel 4004 было 2200 транзисторов, а я разместил 1200 на такой же пластине.
Читать дальше →
Всего голосов 85: ↑85 и ↓0 +85
Просмотры 18K
Комментарии 19