Как стать автором
Обновить

Как мы осваивали вакуумное магнетронное напыление плёнок

Нанотехнологии
Здравствуйте, друзья.

Поскольку у нас прошёл относительно законченный этап в освоении технологии вакуумного напыления тонких плёнок, то у меня логично родилась мысль поделиться накопленным опытом с вами. Конечно, вам может показаться, что здесь было мало чего лежащего на самом острие науки и техники в этом движении. Однако на наш взгляд полезным может быть сам пройденный опыт.


Читать дальше →
Всего голосов 38: ↑36 и ↓2 +34
Просмотры 37K
Комментарии 89

Как это сделано: Оптика для EUV/BEUV литографии

Производство и разработка электроники *Научно-популярное Нанотехнологии Физика
✏️ Технотекст 2021

Все чаще в обсудениях, посвященных внедрению все более мелких техпроцессов изготовленя СБИС, всплывает тема рентгеновской литографии. Тема довольно сложная, и запутанная, особенно если обсуждать вопрос "кто кого родил - Cymer или ASML. Но этот пост совершенно не про историю.

Так уж получилось, что последние 20 с лишним лет я занимаюсь исследованием и изготовлением многослойных периодических покрытий, являющихся ключевым элементом многих рентгенооптических приборов, включая EUV степперы, активно внедряемые в производство. Вот об особенностях изготовления таких покрытий я и хочу рассказать.

Читать далее
Всего голосов 142: ↑142 и ↓0 +142
Просмотры 24K
Комментарии 94