Suzuki, Smith Microlithography: science and technology
Wei Advanced processes for 193-nm Immersion Lithography
Rai-Choudhury Handbook of Microlithography... Vol.1
Ну и классика прошлого века в переводе: Моро Микролитография в 2-х томах, но там хорошо бы знать актуальное состояние, т.к. часть перспективных направлений с того момента отвалилась. Остальное вполне актуально.
У меня есть вот такая книга: "Технология и конструкции микросхем, микропроцессоров и микросборок". Л. А. Коледов. Учебное пособие. 3-е изд. Лань, 2009. ISBN 978-5-8114-0766-8.
В книге описаны топология, известные структуры полупроводниковых приборов (на 2009г), немного уделено внимания технологии производства (литографии). Читать книгу неподготовленному очень тяжело, хотя автор преподносит её как учебник.
Здесь в дисскуссии встречается сравнение КНДР с поздним СССР.
Вот что такое поздний СССР ( а я его видел...)?
В ОКБ Факел где я проектировал плазменно-ионный двигатель работа была построена через бюрократические ритуалы, а в области технической компетенции - через задницу...
В НИИ Физических Измерений, верхушка - это вздорная кодла, имеющая завязки на теневую экономику. Чтобы себя обезопасить, они блокировали продвижение на верх ярких дееспособных людей. И к примеру в 80-е годы НИИФИ каждый год бралось за разработку своих КМОП микросхем.. И каждый раз это заканчивалось провалом. Я помню, я тоже дернулся разработать свою микросхему, оформил кучу бюрократических бумаг, в конце концов получил финансирование ... как вдруг в эти деньги влезли все и поделили.. Сам проект руководтсво отдало Михаилу Федоровичу, именно тому "кадру" который по КМОП-ам до сих пор все и проваливал... А меня к конце этой эпопеи заставили (как рабочую лошадь) писать отчет о положительных достигнутых результатах.
Чуть позже работал я еще в СКБ Турбонагнетателей. Руководство там можно охарактеризовать как - воры-маньяки. А в области технической компетенции - был какой-то запредельный трэш, хотя Бауманка ( кафедра Э-2, Грехов) и ЦНИДИ (Котеночкин, Дейч) в 60-е годы сделали им их начальные проекты, которые показали себя лучше на тестировании во Франции (начало 70-х) чем продукция АВВ TurboSystems.
Найдите книгу «Д Бернард — Практическое руководство по использованию X-Ray инспекции в производстве радиоэлектронных изделий — 2007», там все образы дефектов указаны с графическими примерами
Конкретно эти цифры из книжки "Design for Excellence in Electronics Manufacturing" by Cheryl Tulkoff, Greg Caswell, 2021.
На английском языке хорошие книги:
Suzuki, Smith Microlithography: science and technology
Wei Advanced processes for 193-nm Immersion Lithography
Rai-Choudhury Handbook of Microlithography... Vol.1
Ну и классика прошлого века в переводе: Моро Микролитография в 2-х томах, но там хорошо бы знать актуальное состояние, т.к. часть перспективных направлений с того момента отвалилась. Остальное вполне актуально.
У меня есть вот такая книга: "Технология и конструкции микросхем, микропроцессоров и микросборок". Л. А. Коледов. Учебное пособие. 3-е изд. Лань, 2009. ISBN 978-5-8114-0766-8.
В книге описаны топология, известные структуры полупроводниковых приборов (на 2009г), немного уделено внимания технологии производства (литографии). Читать книгу неподготовленному очень тяжело, хотя автор преподносит её как учебник.
Начать можно, например, с несложной книжки May, Sze "Fundamentals of Semiconductor Fabrication"
Здесь в дисскуссии встречается сравнение КНДР с поздним СССР.
Вот что такое поздний СССР ( а я его видел...)?
В ОКБ Факел где я проектировал плазменно-ионный двигатель работа была построена через бюрократические ритуалы, а в области технической компетенции - через задницу...
В НИИ Физических Измерений, верхушка - это вздорная кодла, имеющая завязки на теневую экономику. Чтобы себя обезопасить, они блокировали продвижение на верх ярких дееспособных людей. И к примеру в 80-е годы НИИФИ каждый год бралось за разработку своих КМОП микросхем.. И каждый раз это заканчивалось провалом. Я помню, я тоже дернулся разработать свою микросхему, оформил кучу бюрократических бумаг, в конце концов получил финансирование ... как вдруг в эти деньги влезли все и поделили.. Сам проект руководтсво отдало Михаилу Федоровичу, именно тому "кадру" который по КМОП-ам до сих пор все и проваливал... А меня к конце этой эпопеи заставили (как рабочую лошадь) писать отчет о положительных достигнутых результатах.
Чуть позже работал я еще в СКБ Турбонагнетателей. Руководство там можно охарактеризовать как - воры-маньяки. А в области технической компетенции - был какой-то запредельный трэш, хотя Бауманка ( кафедра Э-2, Грехов) и ЦНИДИ (Котеночкин, Дейч) в 60-е годы сделали им их начальные проекты, которые показали себя лучше на тестировании во Франции (начало 70-х) чем продукция АВВ TurboSystems.
Собственно, вот эта история: https://xakep.ru/2011/12/26/58104/
И её идейное продолжение: https://www.securitylab.ru/contest/430512.php