Новый завод будет построен в префектуре Точиги и начнет работать весной 2025 года. Инвестиции составят более 50 миллиардов иен (345 миллионов долларов США), включая затраты на строительство и установку производственного оборудования. Компания намерена удвоить свои текущие мощности.
Новый завод будет построен на свободном участке площадью около 70 000 кв. м на территории существующего завода. Это будет первый новый завод по производству литографического оборудования, построенный компанией Canon за 21 год. Строительство начнется в 2023 году.
Ожидается, что в 2022 году продажи оборудования для литографии полупроводников вырастут на 29% в годовом исчислении и достигнут 180 единиц, что в четыре раза больше, чем 10 лет назад. Новый завод поможет удовлетворить этот растущий спрос.
Canon контролирует 30% мирового рынка оборудования для литографии в натуральном выражении, уступая ASML, на долю которой приходится 60%.
Компания также будет разрабатывать технологию следующего поколения под названием "наноимпринтная литография". Она позволяет травить новейшие тонкие микросхемы по более низкой цене, чем существующее оборудование для литографии. Процесс упрощается с помощью метода, который вытравливает схемы как при штамповке, что снижает производственные затраты. Компания Canon возглавляет разработку новой технологии, а японские компании Kioxia и Dai Nippon Printing принимают в ней участие.
В настоящее время для формирования схем на нанометровом уровне, равном одной миллиардной части метра, необходимо оборудование, использующее технологию, известную как экстремальный ультрафиолет (EUV). Европейский поставщик оборудования для производ��тва микросхем ASML является единственным источником этой технологии.
Но это оборудование дорогостоящее, стоимостью около 20 миллиардов иен за единицу, и потребляет много энергии. Если наноимпринтную литографию удастся применить на практике, Canon ожидает, что производственные затраты на процесс литографии снизятся до 40%, а энергопотребление - до 90% по сравнению с EUV. Компания стремится расширить продажи наноимпринтной литографии, чтобы сломать доминирование ASML на рынке.
