Российская микроэлектроника сегодня, завтра, и при чём здесь микромеханика

Да странно

Попробуйте через копирование

Российская микроэлектроника сегодня, завтра, и при чём здесь микромеханика

https://www.mdpi.com/2072-666X/11/5/456

Вот обзорная статья с общим описанием технологии

ИИ использовал только для поиска вариантов синонимов отдельных выражений)