Есть подозрение, что ваш счетчик частиц не прокачивает через себя достаточный объем воздуха, а потому и не определяет или определяет в недостаточных количествах количество частиц. Потому что иначе довольно сложно объяснить, как только с фильтрами грубой очистки, в помещении, сконструированном не как чистое помещение, и без спецодежды у вас получается класс чистоты ИСО5. И при этом пыль в стойках все же накапливается.
Позвольте вас поправить: для устранения влияния атмосферы применяется адаптивная оптика (это когда тонкий оптический элемент заданным образом деформируют, т.е. основная задача — правильно деформировать зеркало, чтобы получить нужное отражение), а для устранения влияния температуры, ветра, силы притяжения применяется активная оптика (это когда крупногабаритные и массивные зеркала как бы «разгружают», чтобы они не деформировались под внешними воздействиями, причем необязательно они должны являться сегментами составного зеркала).
И по тексту статьи есть неточности. Например, «Зеркало телескопа представляет собою мениск диаметром 6050 мм...» Главное зеркало БТА — не менисковое. Менисковые зеркала — это относительно тонкие оптические элементы с криволинейной задней (нерабочей) поверхностью, как правило, примерно повторяющей форму рабочей, а зеркало БТА — это классическое «толстое» зеркало с отношением диаметра к толщине около 1:10, плоской задней поверхностью и с некоторой структурой облегчения. Ну и т.д. типа сооружения специального завода в цеху изготовления зеркальных отражателей — история Лыткаринского завода оптического стекла, конечно, начиналась, как предприятия по изготовлению как раз зеркальных отражателей для прожекторов, но к моменту изготовления главного зеркала БТА на ЛЗОСе много чего было сделано…
Из своей практики еще могу посоветовать следующее:
1. Если нужно точно отслеживать давление, то нужен баротрон (правда, дорогое удовольствие). Прочие датчики, ионизационные (с горячим катодом) или магниторазрядные, имеют погрешность до 20% от показываемой величины, хотя ионизационные считаются чуть точнее.
2. Магниторазрядный датчик из-за большого магнитного поля нельзя размещать близко к устройствам, также работающим с применением магнитного поля или с заряженными частицами. Будет взаимное влияние. Особенно неприятно для ионного источника, т.к. пучок искажается.
3. Поставить внутри камеры экран перед отверстием, к которому подключается магниторазрядный датчик. Оптимально — вообще поставить клапан перед датчиком и на время работы ионного источника закрывать датчик, а давление контролировать по тепловому датчику (Пирани). Это связано с тем, что в силу конструкции и принципа работы датчик собирает с камеры загрязнения, которые осаждаются внутри. Как следствие, датчик сначала начинает показывать неверные показания, а если совсем все запущено – может произойти пробой, приводящий к выходу из строя.
4. Поставить азотную ловушку перед диффузионником, т.к. есть сомнения, что получится докачать на нем до 10Е-8/10Е-9 Торр без нее.
И еще вопрос – а зачем Вам такое значительное предварительное разряжение? Ведь рабочее давление будет примерно 10Е-2 Торр, а для так скажем «очистки» рабочего пространства более чем достаточно и 10Е-6 Торр (при этом давлении наносят тонкослойные оптические покрытия, на которые очень влияет состав и давление остаточных газов).
Какой поток газа Вы планируете подавать? У меня, например, на установках ТМНы перекачивают сотни sccm, без проблем. Область применения — ионно-лучевое травление и магнетронное нанесение тонкослойных покрытий. И ТМНы — самый часто используемый насос в in-line системах магнетронного нанесения покрытий на листовые стекла, где как раз используется аргон как рабочий газ в больших количествах. Просто именно ТМН в отличии от диффузионника может дать безмасляный вакуум и не ограничен емкостью в отличии от крионасоса. Кроме того у ТМН наименьшая стоимость, так скажем, 1-го л/с, что важно для промышленного применения.
Прошу извинить, но чем легче газ, тем сложнее его откачивать. В этом просто убедиться, посмотрев скорости откачки насосов по газам. Так что для вакуумных установок с постоянной подачей рабочего газа ТМН как раз лучший вариант.
И по тексту статьи есть неточности. Например, «Зеркало телескопа представляет собою мениск диаметром 6050 мм...» Главное зеркало БТА — не менисковое. Менисковые зеркала — это относительно тонкие оптические элементы с криволинейной задней (нерабочей) поверхностью, как правило, примерно повторяющей форму рабочей, а зеркало БТА — это классическое «толстое» зеркало с отношением диаметра к толщине около 1:10, плоской задней поверхностью и с некоторой структурой облегчения. Ну и т.д. типа сооружения специального завода в цеху изготовления зеркальных отражателей — история Лыткаринского завода оптического стекла, конечно, начиналась, как предприятия по изготовлению как раз зеркальных отражателей для прожекторов, но к моменту изготовления главного зеркала БТА на ЛЗОСе много чего было сделано…
1. Если нужно точно отслеживать давление, то нужен баротрон (правда, дорогое удовольствие). Прочие датчики, ионизационные (с горячим катодом) или магниторазрядные, имеют погрешность до 20% от показываемой величины, хотя ионизационные считаются чуть точнее.
2. Магниторазрядный датчик из-за большого магнитного поля нельзя размещать близко к устройствам, также работающим с применением магнитного поля или с заряженными частицами. Будет взаимное влияние. Особенно неприятно для ионного источника, т.к. пучок искажается.
3. Поставить внутри камеры экран перед отверстием, к которому подключается магниторазрядный датчик. Оптимально — вообще поставить клапан перед датчиком и на время работы ионного источника закрывать датчик, а давление контролировать по тепловому датчику (Пирани). Это связано с тем, что в силу конструкции и принципа работы датчик собирает с камеры загрязнения, которые осаждаются внутри. Как следствие, датчик сначала начинает показывать неверные показания, а если совсем все запущено – может произойти пробой, приводящий к выходу из строя.
4. Поставить азотную ловушку перед диффузионником, т.к. есть сомнения, что получится докачать на нем до 10Е-8/10Е-9 Торр без нее.
И еще вопрос – а зачем Вам такое значительное предварительное разряжение? Ведь рабочее давление будет примерно 10Е-2 Торр, а для так скажем «очистки» рабочего пространства более чем достаточно и 10Е-6 Торр (при этом давлении наносят тонкослойные оптические покрытия, на которые очень влияет состав и давление остаточных газов).