Почему Mapper Lithography обанкротилась в 2018г, что не так с технологией ?
На мой взгляд - потому, что этот проект был организован и управлялся не для безусловного получения результата в виде готовой установки. Пилить деньги любят не только в России.
1) Зачем отклонять каждый луч индивидуально (на 2мкм), почему нельзя отклонять их все скопом на эти самые 2 мкм ?
Иначе, скорее всего, не получается нужное разрешение за нужное время.
Или нет ?
Наоборот - интерференция используется для повышение разрешения.
3) Что происходит с апертурной решеткой (бланкером) которую непрерывно бомбардируют электронами достаточно высоких энергий ?
Это хороший вопрос, и без данных натурных испытаний (которых у нас, естественно, нет) ответить на него невозможно. Как решили подобную проблему для выходных окон мощных гиротронов - я рассказывал в комментариях чуть выше.
Пучки могут блокироваться бланкерами, а ниже находятся две матрицы индивидуальных дефлекторов, отклоняющие каждый отдельный пучок во взаимно перпендикулярных направлениях примерно на 2 мкм: https://habr.com/ru/post/213379/
https://atomexpo2022.ru/broadcast/33 - с 23:28 Александр Михайлович Сергеев в пику Геннадию Яковлевичу Красникову пытается продвинуть свой проект литографа.
Есть ощущение, что выделенное на НИР все может уйти мимо
У меня лично ровно такие же ощущения. По отечественному электронному многолучевому литографу опубликованных работ нет, хотя технически для них нет препятствий.
И так как организация идеолог это ИФМ - возможно несколько странно, что в качестве соисполнителя зачастую упоминается ИПФ (непонятно, это опечатка, или ИФМ привлекают через ИПФ, или же вообще не привлекают...)
Головной ИПФ в этом проекте не участвует никак от слова совсем. Хотя только он сейчас способен сделать этот лазерно-плазменный источник (не за год-другой, конечно). Поэтому и вызвало большое общественное недоумение появление его логотипа на совершенно нереализуемом прожекте.
Сам факт. Там только науки не на одну тысячу человеко-часов.
Подскажите что за "люди, способные сделать...спроектировать...собать...." и ведутся ли работы по электронной литографии (или ее составляющим) в России ?
Судя по наличию НИР "Ренген-Литограф" работы такие в России ведутся, но не в головном ИПФ, в котором есть ещё люди, понимающие в электронных пучках. За ИФМ сказать ничего не могу. С точки зрения науки сделать многолучевую безмасочную электронную литографию реально, в отличие от обсуждаемой ренгеновской. Все необходимые составляющие (электронные пушки, системы фокусировки, резисты) есть в прототипах (может не в таких миниатюрных, как надо), так и методики расчёта поведения плотных электронных пучков (чего не было у голландского Маппера). Т.е. это чисто инженерная работа, в отличие от лазерно-плазменного источника.
И это ведь не отменяет участия в нем заинтересованных лиц, имеющих компетенции.
Как правило финансирование таких "заинтересованных участников" происходит по остаточному принципу.
Беда в том, что НИР представляет из себя работу, по которой необязателен реальный результат - достаточно бумаг.
Потому что вижу ситуацию изнутри. Инженеры как есть (если сравнивать с атомным проектом - первый список Курчатова был на 100 человек), денег на НИР выделено 670 млн.руб, машиностроения существующего пока достаточно, задел есть.
Ресурсы есть, но судя по тому, что НИР "Ренген-литограф" выиграл МИЭТ - желания нет.
Вундерфалей выглядит как раз обсуждаемый здесь проект литографа с лазерно-плазменным источником. Невозможно создать что-то крутое, не пройдя предыдущих небольших шагов.
Зеркала ничего создать не могут. Нужна инверсия. В олове она создаётся от нагрева и испарения. А как это сделать в ксеноне? Лично знаю группу, изучавшую взаимодействие мощных лазерных импульсов и плазмы газового разряда лет 10 назад. Но потом у них сломался фемтосекундник Millennia - и всё заглохло. Резонаторами там даже и не пахло.
Шаг от полумегаваттного гиротрона до "непрерывного" мегаваттного 15 лет назад тоже сопровождался проблемами с перегревом, точнее с разрушением выходного окна из всех тогда доступных материалов. В качестве паллиатива был даже сделан квазиоптический преобразователь, который выходной пучок из рабочей моды делал не гаусовым, а примерно прямоугольным. И всё равно нитридные окна трескались. Европейские коллеги подсказали про существование алмаза и купили пару штук для начальной комплектации конторских изделий для них. За 5 лет технология изготовления азмазных поликристаллических окон D=80мм H=2мм была создана в конторе с нуля, причём скорости роста удалось увеличить на порядок.
В многолучевой электронной литографии не видно научных проблем, только технологические. Которые в наших условиях вполне преодолимы за разумные сроки при наличии желания и нужных ресурсов.
Пример Mapper'а не показатель: они пилили деньги, а не создавали предсерийный агрегат. Прототип они успешно создали. Уважаемый CorneliusAgrippa в комментариях прямо это и отмечал. Работающий гиротрон для ITER'а ЕС в лице Thales тоже не смогла сделать, проявив технический авантюризм, хотя вся наука и большая часть технологии у них есть.
Дополнение: лично на мой скромный взгляд более реальной является реализация многолучевой электронной литографии. По крайней мере для неё есть ещё люди, способные сделать расчёты для плотных электронных пучков, спроектировать систему управления, собрать прототип и его масштабировать. Но почему-то головным по этому проекту является вроде как МИФИ, а там и масштабы соответствующие: большой ускоритель и т.п.
600Вт вроде как в излучении нужного диапазона. КПД там того же порядка, на вход нужны десятки киловатт. Проблема в том, что ИК накачкой невозможно получить когерентный ренген. Т.е. это не лазер. Источник этот "ксеноновый лазерно-плазменный" в том виде как он представлен не существует даже в виде идеи.
Взгляд изнутри: новость изначально фейковая. В конторском чате нашли даже первоисточник: https://strategy.government-nnov.ru/ru-RU/longread/nano - получается, что даже не учёный как обычно изнасиловал журналиста, а случилось нечто большее. Сразу разгорелась дискуссия, кто делает этот самый лазерно-плазменный источник. Профиль что ни на есть головного ИПФ РАН. Началась интереснейшая дискуссия завлабов, типа: " А я вот слышал, что это делает имрек1!" На что тот отвечает: "Нет, мы это не делаем, но знаю, что это делает имярек2." Примерно на 4 итерации круг замкнулся. Все очень хотят найти человека, который на эту картинку прилепил конторский логотип и, например, посмотреть ему в глаза.
Нет, сделать это всё можно, но .... гиротрон для ИТЭР от "знаем_как" до нынешней серии занял более 10 лет.
Потому что на момент подписания соглашения по ИТЭР в начале 201х годов никто в мире не умел делать генераторов с подобными характеристиками: 1 МВт мощности в СВЧ на частоте 170 ГГц в течение 100 сек. Взялись делать мы, японцы и Европа - по 8 штук. У последней не получилось (пока). Японцы только недавно сдали устройство, выдающее все параметры одновременно. Что же касается непосредственного изготовления гиротронов, то в ИПФ сделана конструкторская разработка и некоторые особо точные части. Остальное делает Гиком, в том числе сборку и испытания. По производственным соображениям делать это в Институте сильно затруднительно, а у Гикома на НПП Салют есть готовая база.
В европейском гиротроне для ITER'а технические трудности также оказались принципиальны. При этом российский производится серийно 1 шт в два месяца.
На мой взгляд - потому, что этот проект был организован и управлялся не для безусловного получения результата в виде готовой установки. Пилить деньги любят не только в России.
Иначе, скорее всего, не получается нужное разрешение за нужное время.
Наоборот - интерференция используется для повышение разрешения.
Это хороший вопрос, и без данных натурных испытаний (которых у нас, естественно, нет) ответить на него невозможно. Как решили подобную проблему для выходных окон мощных гиротронов - я рассказывал в комментариях чуть выше.
Пучки могут блокироваться бланкерами, а ниже находятся две матрицы индивидуальных дефлекторов, отклоняющие каждый отдельный пучок во взаимно перпендикулярных направлениях примерно на 2 мкм: https://habr.com/ru/post/213379/
https://atomexpo2022.ru/broadcast/33 - с 23:28 Александр Михайлович Сергеев в пику Геннадию Яковлевичу Красникову пытается продвинуть свой проект литографа.
Вообще-то надо порядок больше для разумных времён засветки.
Почитайте вот это: https://habr.com/ru/post/412151/ и https://habr.com/ru/post/392983/ . Про миниатюрные ренгеновские источники (в их основе - электронная пушка): https://habr.com/ru/post/666482/
У меня лично ровно такие же ощущения. По отечественному электронному многолучевому литографу опубликованных работ нет, хотя технически для них нет препятствий.
Головной ИПФ в этом проекте не участвует никак от слова совсем. Хотя только он сейчас способен сделать этот лазерно-плазменный источник (не за год-другой, конечно). Поэтому и вызвало большое общественное недоумение появление его логотипа на совершенно нереализуемом прожекте.
Да.
Сам факт. Там только науки не на одну тысячу человеко-часов.
Судя по наличию НИР "Ренген-Литограф" работы такие в России ведутся, но не в головном ИПФ, в котором есть ещё люди, понимающие в электронных пучках. За ИФМ сказать ничего не могу. С точки зрения науки сделать многолучевую безмасочную электронную литографию реально, в отличие от обсуждаемой ренгеновской. Все необходимые составляющие (электронные пушки, системы фокусировки, резисты) есть в прототипах (может не в таких миниатюрных, как надо), так и методики расчёта поведения плотных электронных пучков (чего не было у голландского Маппера). Т.е. это чисто инженерная работа, в отличие от лазерно-плазменного источника.
Как правило финансирование таких "заинтересованных участников" происходит по остаточному принципу.
Беда в том, что НИР представляет из себя работу, по которой необязателен реальный результат - достаточно бумаг.
У Миландра был прототип на ПЛИС. Естественно, что габариты и потребление ПЛИС никого не устроят.
Потому что вижу ситуацию изнутри. Инженеры как есть (если сравнивать с атомным проектом - первый список Курчатова был на 100 человек), денег на НИР выделено 670 млн.руб, машиностроения существующего пока достаточно, задел есть.
Ресурсы есть, но судя по тому, что НИР "Ренген-литограф" выиграл МИЭТ - желания нет.
Вундерфалей выглядит как раз обсуждаемый здесь проект литографа с лазерно-плазменным источником. Невозможно создать что-то крутое, не пройдя предыдущих небольших шагов.
Зеркала ничего создать не могут. Нужна инверсия. В олове она создаётся от нагрева и испарения. А как это сделать в ксеноне? Лично знаю группу, изучавшую взаимодействие мощных лазерных импульсов и плазмы газового разряда лет 10 назад. Но потом у них сломался фемтосекундник Millennia - и всё заглохло. Резонаторами там даже и не пахло.
Eth PHY вполне создаётся на имеющихся нормах. А вот гигабитный по хорошему требует Si-Ge, с чем, видимо, случилась загвоздка.
Шаг от полумегаваттного гиротрона до "непрерывного" мегаваттного 15 лет назад тоже сопровождался проблемами с перегревом, точнее с разрушением выходного окна из всех тогда доступных материалов. В качестве паллиатива был даже сделан квазиоптический преобразователь, который выходной пучок из рабочей моды делал не гаусовым, а примерно прямоугольным. И всё равно нитридные окна трескались. Европейские коллеги подсказали про существование алмаза и купили пару штук для начальной комплектации конторских изделий для них. За 5 лет технология изготовления азмазных поликристаллических окон D=80мм H=2мм была создана в конторе с нуля, причём скорости роста удалось увеличить на порядок.
В многолучевой электронной литографии не видно научных проблем, только технологические. Которые в наших условиях вполне преодолимы за разумные сроки при наличии желания и нужных ресурсов.
Phy 10/100 Eth Миландр вроде как сделал. А вот 1G уже нет, хотя пилил ОКР с 2012 года. А он очень нужен куче народу.
Пример Mapper'а не показатель: они пилили деньги, а не создавали предсерийный агрегат. Прототип они успешно создали. Уважаемый CorneliusAgrippa в комментариях прямо это и отмечал. Работающий гиротрон для ITER'а ЕС в лице Thales тоже не смогла сделать, проявив технический авантюризм, хотя вся наука и большая часть технологии у них есть.
Дополнение: лично на мой скромный взгляд более реальной является реализация многолучевой электронной литографии. По крайней мере для неё есть ещё люди, способные сделать расчёты для плотных электронных пучков, спроектировать систему управления, собрать прототип и его масштабировать. Но почему-то головным по этому проекту является вроде как МИФИ, а там и масштабы соответствующие: большой ускоритель и т.п.
600Вт вроде как в излучении нужного диапазона. КПД там того же порядка, на вход нужны десятки киловатт. Проблема в том, что ИК накачкой невозможно получить когерентный ренген. Т.е. это не лазер. Источник этот "ксеноновый лазерно-плазменный" в том виде как он представлен не существует даже в виде идеи.
Взгляд изнутри: новость изначально фейковая. В конторском чате нашли даже первоисточник: https://strategy.government-nnov.ru/ru-RU/longread/nano - получается, что даже не учёный как обычно изнасиловал журналиста, а случилось нечто большее. Сразу разгорелась дискуссия, кто делает этот самый лазерно-плазменный источник. Профиль что ни на есть головного ИПФ РАН. Началась интереснейшая дискуссия завлабов, типа: " А я вот слышал, что это делает имрек1!" На что тот отвечает: "Нет, мы это не делаем, но знаю, что это делает имярек2." Примерно на 4 итерации круг замкнулся. Все очень хотят найти человека, который на эту картинку прилепил конторский логотип и, например, посмотреть ему в глаза.
Нет, сделать это всё можно, но .... гиротрон для ИТЭР от "знаем_как" до нынешней серии занял более 10 лет.
Прототип литографа на 13.5нм был создан ИФМ РАН ещё в 2013 году: http://ipmras.ru/ru/results/archive/practice
Потому что на момент подписания соглашения по ИТЭР в начале 201х годов никто в мире не умел делать генераторов с подобными характеристиками: 1 МВт мощности в СВЧ на частоте 170 ГГц в течение 100 сек. Взялись делать мы, японцы и Европа - по 8 штук. У последней не получилось (пока). Японцы только недавно сдали устройство, выдающее все параметры одновременно. Что же касается непосредственного изготовления гиротронов, то в ИПФ сделана конструкторская разработка и некоторые особо точные части. Остальное делает Гиком, в том числе сборку и испытания. По производственным соображениям делать это в Институте сильно затруднительно, а у Гикома на НПП Салют есть готовая база.