Минпромторг разместил заказ на разработку и производство опытной партии фоторезистов для литографии стоимостью 390 млн рублей. Соответствующая закупка опубликована 25 ноября. Разрабатываемые материалы планируется применять при производстве микросхем с топологией от 310 до 440 нанометров, сообщают «Ведомости».

Как объясняет независимый аналитик, эксперт «Ведомостей» Алексей Бойко, диапазон 310–440 нм охватывает выпуск микроэлектромеханических систем, силовой электроники и простых контроллеров, применяемых в бытовой технике, автомобильной и авиационной промышленности. Такие изделия требуют надёжности, но не сверхплотной интеграции, характерной для современных процессоров.

В документации Минпромторга отмечается, что «актуальность работы обусловлена сокращением, а в некоторых случаях прекращением поставок фоторезистов иностранного производства для литографии». Российских аналогов подобной продукции пока нет. 

Проект реализуется в рамках госпрограммы «Научно‑технологическое развитие РФ» и направления «Развитие электронного машиностроения до 2030 года», которая сталкивается с хроническим недофинансированием: в 2025 году вместо запланированных 40 млрд руб. было выделено лишь 15,7 млрд. На 2026 г. запланировано 30 млрд руб., на 2027 и 2028 гг. — по 25 млрд руб.

По словам экспертов, после введения санкций российская промышленность испытывает дефицит химических материалов для микроэлектроники. Ранее компании закупали фоторезисты у японских Fujifilm Electronics, JSR и Shin Etsu Chemical, американской DuPont, итальянской Elga Europe, южнокорейской Kolon Industries и китайской Chang Chun Chemical. 

Сейчас используются остатки прежних поставок, параллельно отечественные институты, включая НИИМЭ, проводят опыты по созданию собственных составов. Так, эксперимент по разработке фоторезиста от НИИМЭ (входит в ГК «Элемент») под 90 нм успешно апробирован «Микроном».

Однако эксперты признают: китайские аналоги уступают по качеству, а для запуска полноценного серийного производства отечественных фоторезистов в России потребуется значительно больше средств. Леонид Коник из ComNews оценивает выделенную сумму в достаточную для изготовления тестовых образцов, но не для организации массового выпуска. По оценке Бойко, для промышленного производства потребуется порядка 4–5 млрд рублей. Схожую оценку даёт и гендиректор группы компаний ST IT Антон Аверьянов: по его мнению, запуск серийного производства одного типа фоторезиста с полной технологической цепочкой обойдётся в 1,5–3 млрд рублей.