Смотря для каких приложений. Магнетрон весьма неплох, однако качество покрытия (равномерность, напряжения, дефекты) при хорошей настройке обоих систем лучше у ICP. Плотность плазмы у магнетрона поменьше, неравномерность побольше. ICP также применяется для травления, магнетрон в принципе на это не заточен. Если цель просто что-то напылить дешево и сердито, то однозначно магнетрон, мы сами в лабе часто пользуемся магнетронами для напыления. Каждому по потребности, от каждого по способности, как говорится.
Смотря для каких приложений. Магнетрон весьма неплох, однако качество покрытия (равномерность, напряжения, дефекты) при хорошей настройке обоих систем лучше у ICP. Плотность плазмы у магнетрона поменьше, неравномерность побольше. ICP также применяется для травления, магнетрон в принципе на это не заточен. Если цель просто что-то напылить дешево и сердито, то однозначно магнетрон, мы сами в лабе часто пользуемся магнетронами для напыления. Каждому по потребности, от каждого по способности, как говорится.