Хабр Курсы для всех
РЕКЛАМА
Большая витрина: от крупнейших школ до частных авторов. Сравнивайте по цене, длительности, формату и выбирайте самый подходящий курс!
Поток Научпоп доступен 24/7 благодаря поддержке друзей Хабра
Комментарии 3
А не лучше получпть плазму магнетроном?
Смотря для каких приложений. Магнетрон весьма неплох, однако качество покрытия (равномерность, напряжения, дефекты) при хорошей настройке обоих систем лучше у ICP. Плотность плазмы у магнетрона поменьше, неравномерность побольше. ICP также применяется для травления, магнетрон в принципе на это не заточен. Если цель просто что-то напылить дешево и сердито, то однозначно магнетрон, мы сами в лабе часто пользуемся магнетронами для напыления. Каждому по потребности, от каждого по способности, как говорится.
Зарегистрируйтесь на Хабре, чтобы оставить комментарий
Плазменные технологические разряды. Начало