Плазменные технологические разряды. Начало

[arthuru1]

А не лучше получпть плазму магнетроном?

[Debye]

Смотря для каких приложений. Магнетрон весьма неплох, однако качество покрытия (равномерность, напряжения, дефекты) при хорошей настройке обоих систем лучше у ICP. Плотность плазмы у магнетрона поменьше, неравномерность побольше. ICP также применяется для травления, магнетрон в принципе на это не заточен. Если цель просто что-то напылить дешево и сердито, то однозначно магнетрон, мы сами в лабе часто пользуемся магнетронами для напыления. Каждому по потребности, от каждого по способности, как говорится.