Comments 3
А не лучше получпть плазму магнетроном?
Смотря для каких приложений. Магнетрон весьма неплох, однако качество покрытия (равномерность, напряжения, дефекты) при хорошей настройке обоих систем лучше у ICP. Плотность плазмы у магнетрона поменьше, неравномерность побольше. ICP также применяется для травления, магнетрон в принципе на это не заточен. Если цель просто что-то напылить дешево и сердито, то однозначно магнетрон, мы сами в лабе часто пользуемся магнетронами для напыления. Каждому по потребности, от каждого по способности, как говорится.
Магнетрон, как помню, является источником электромагнитных волн
(для тех-же радаров).
И - он-же используется в микроволновой печи.
Там, изменяя потенциал (напряжение), удаётся не так плохо регулировать ту резонансную частоту, что будет излучаться.
Как раз в области поглощения воды (изменения валентного угла H-O-H) и излучается энергия (около 2.45 ГГц).
После чего поглощённая энергия распределяется по прочим колебательным степеням свободы.
Ещё - уравнение Дебая-Хюккеля в памяти, это из теории электролитов.
А можно поинтересоваться, каковы ваши основные задачи, что вы (с коллегами) решаете в лаборатории?
Что-то прочёл статью, а на этот счёт - так соображений и не появилось.
Насчёт напыления металла: я использую т.н. фазовый взрыв, когда сверхтоком испаряем металлический проводник
(энергия накапливается в электролитических конденсаторах).
Совершенно обходясь без магнетрона.
Плазменные технологические разряды. Начало