Comments 14
... электронные пучки можно рассматривать как лучи света. Такие понятия, как фокусное расстояние, увеличение, формирование изображения и даже аберрации линз, можно было применять к электронам.
Тогда почему их не используют при производстве микросхем вместо ультрафиолета?
Используют.
Используют только электронно-лучевую литографию в узкой области применения.
И она отличается от фотолитографии, сканированием узким пучком электронов.
Почему не используют электроны без сканирования как в фотолитографии,
только вместо ультрафиолета электроны?
Потому что нет непрозрачных для электронов масок-фотошаблонов. Они же должны быть очень тонкими. Поэтому используют только свет.
Но ведь описанный в этой статье ЭМ как-то работает.
И даже атомы показывает. Это значит образец или маска имеют атомную толщину
и при этом электроны всё равно взаимодействуют с веществом: поглощаются, рассеиваются.
Если этого мало можно последовательно поставить несколько масок.
Или подать на них отрицательное напряжение для поглощения электронов.
Или уменьшить скорость электронов, чтоб застревали.
Или наоборот сделать маску как источник электронов.
Или фоторезист с порогом засветки. И т.д.
В конце концов что-нибудь придумают, потому что
дальше уменьшать ультрафиолет слишком дорого.
Кстати, это достойная задача для ИИ. На просьбу
"Предложи способ электронной литографии без сканирования, а сразу по всей маске."
даже локальные LLM выдают кучу способов, в которых можно найти интересное.
Потому, что электроны, в отличие от фотонов, отталкиваются друг от друга.
Если уж проповедовать электронную микроскопию, то терминологию стоило бы соблюдать, иначе и до ереси будет недалеко.
"полюсной линзы" читай "линзы с полюсным наконечниками"
"полюсные элементы" читай "полюсные наконечники"
"воду можно остекловать, то есть охладить настолько быстро, что она затвердевает в стекло, а не кристаллизуется" читай "воду можно витрифицировать, то есть охладить настолько быстро, что она затвердевает в аморфном состоянии, а не кристаллизуется"
и т.д.
История электронного микроскопа