Я не спец по железу для литографии, но могу сказать за EDA софт (15+ лет его разрабатываю в Кремниевой долине) - для тех нанометров которые планируются сделать в России не обязательно "изобретать велосипед" - если не хочется использовать взломанные зарубежные аналоги можно использовать китайские. Официально покупать и получать какой-никакой саппорт. Они уже несколько лет как вложили туда нормальные деньги и скопировали/сделали все свое. Китай серьезно лоббирует свой софт в Тайване у TSMC / Foxconn и с ними все сложнее конкурировать.
Я не спец по железу для литографии, но могу сказать за EDA софт (15+ лет его разрабатываю в Кремниевой долине) - для тех нанометров которые планируются сделать в России не обязательно "изобретать велосипед" - если не хочется использовать взломанные зарубежные аналоги можно использовать китайские. Официально покупать и получать какой-никакой саппорт. Они уже несколько лет как вложили туда нормальные деньги и скопировали/сделали все свое. Китай серьезно лоббирует свой софт в Тайване у TSMC / Foxconn и с ними все сложнее конкурировать.