Привет. Занимаюсь разработкой элеrтронных сканирующих микроскопов, элекnронно-лучевых литографических систем и исследование в области полевой эмиссии. В дополнение к этой статье, хотел бы сказать,что гексаборат лантана или церия в принципе в некоторых случая тоже замещается вольфрамом без особых сложностей, с пересчетом режимов работы электронной оптики. Для примера приведу фото перевода PhenomFEI с гексабората ланата на вольфрам (хобби).
С уважением GrafInventor
ЗЫ Не надо таких популистских заголовков типа "импортозамещение" уже аллергия на это всё. =(
На счет усилителя отклонения, вы совершенно правы, проектирование этого усилителя очень не простая задача :) Но я так понимаю у нас с Вами разные задачи: Ваша — запустить, моя — спроектировать с нуля. Управление Винельтом весьма не сложная задача если изначально высоковольтный источник спроектирован с этой целью. Я потратил почти год на разработку концепции, принципиальных схем и апробацию конструкции. В моём случае Винельт помимо управления поддерживает ещё 2 режима быстрого (100нс) бланкига, т.е. прерывания луча. Так как в той колонне, которую я использую сейчас, нет механического бланкинга, однако в конструкции колонны, которую я разрабатывал и моделировал сам поддержка механического бланкинга имеется. А как вы планирую реализовать корректировку аберраций различного рода стигматором?
изменяемое разрешение это прекрасно! особенно для обзорного режима! Какой тип развертки думаете применить? Будите ли использовать гашение луча (и каким образом оно у вас реализовано, с помощью изменения потенциала цилиндра Винельта или физическое прерывание луча)? А вы уверены что в остатках «старого советского» детектора сцинтиллятор живой? Ускоряющее напряжение на сцинциллятор у joil это как раз напряжение необходимое для гарантированного возбуждения сцинциллятора Р-47 (как раз цезиевого).
Какого разрешения картинку вы планируете получить? Какую полосу для усилителя поглощенного тока выбрали? или в случае детектора вторичных элеткронов, Вы планируете использовать сцинтилляционный детектор? Будите ли использовать возможность подачи на клетку Фарадея сцинтилляционного блока детектора не только положительного потенцианало но и отрицательного? Вы сказали про 12 кВ ускоряющего напряжения, вероятнее всего вы имели в виду ускоряющее напряжение на сцинтилляторе, соответственно есть у меня подозрения, что в качестве сцинтиллятора вы планируете использовать цезиевый люминофор? Какое из согласующихся по длине волны с люминофором фэу вы планируете использовать и с какой скоростью нарастания и спада при вашей частоте сканирования что бы обеспечить контраст? pp.userapi.com/c840330/v840330133/11371/QSeiMe082RU.jpg
Привет. Занимаюсь разработкой элеrтронных сканирующих микроскопов, элекnронно-лучевых литографических систем и исследование в области полевой эмиссии. В дополнение к этой статье, хотел бы сказать,что гексаборат лантана или церия в принципе в некоторых случая тоже замещается вольфрамом без особых сложностей, с пересчетом режимов работы электронной оптики. Для примера приведу фото перевода PhenomFEI с гексабората ланата на вольфрам (хобби).
С уважением GrafInventor
ЗЫ Не надо таких популистских заголовков типа "импортозамещение" уже аллергия на это всё. =(