Comments 23
Объяснение зачем карусель на 6 вафель не объясняет ничего. Возможность установки нескольких колонн явно не предусмотрена т.к. колонна слишком большая. Да и это большая головная боль-с двух колонн светить, как минимум одну нужно будет делать подвижной.
Предположу что это обход проблемы охлаждения.
Спасибо, за комментарий.
Объяснение зачем карусель на 6 вафель не объясняет ничего
Возможно это мое кривое объяснение.
В материалах описывающих технологию, говорится, что причина в том, что невозможно создать линейный (координатный) стол с требуемыми параметрами ускорений. Для целевой производительности 10 пластин в час, как пишут авторы требуется линейная скорость примерно 2,5 м/с. Подробнее посмотреть можно здесь
Я лишь добавил мои рассуждения, почему при той же расчетной производительности скорость стола у Mapper значительно ниже. Объяснить это можно только тем, что у Mapper есть возможность сканирования лучом в межлучевых промежутках. Т.е. значительную часть скорости движения луча по поверхности пластины берет на себя система отклонения лучей в колоне. А у KLA такой возможности нет. У них стопка лучей шириной 100 мкм и промежутков между лучами нет. Отклонять же стопку на 100 мкм (чтобы засветить две полосы за один проход), тоже нет. Т.к. при таком отклонении будет закритическая дефокусировка. Они хотя не докладывают какое у них фокусное расстояние, но я предполагаю, что не более 1 мм (у Mapper 0.1 мм, у IMS до 1 мм). Mapper чтобы удержать фокус, при их отклонении стопки лучей на 2 мкм, применял специальные технические ухищрения. Поэтому, думаю, отклонить стопку на 100 мкм (требуемых у KLA), вообще нереально.
Возможность установки нескольких колонн явно не предусмотрена т.к. колонна слишком большая. Да и это большая головная боль-с двух колонн светить, как минимум одну нужно будет делать подвижной.
Да, все верно, требуется подвижные колоны. И все это не было реализовано. Это только мечты KLA. Кстати последние данные о проекте заканчиваются 2015 годом.
Предположу что это обход проблемы охлаждения.
Это скорее бонус с такой компоновкой. Слишком много проблем от такого стола, да и стоимость его "некислая".
Все же, я думаю, что KLA хотели решить проблему со слабым источником, а поймали кучу других проблем.
Прекрасный цикл статей, спасибо.
P.S. Ну хоть вчера что-то сказали о безмасочном прошлогоднем проекте — заглох.
Спасибо ссылку, очень интересно! Еще летом, общаясь с Mapper-ом, было ощущение, что безмасочный рентген-литограф угасает. У МИЭТ еще тогда возникли проблемы с МЭМС-зеркалами. Мое мнение, теперь подтвержденное из видео, что рентгеновские МЭМС-зеркала - это авантюра. Кроме того, что по МЭМС технологии сложно сделать приемлемый коэффициент отражения, это еще, какая-никакая механика. А это почти "никакая" надежность для применения в таком приложении, как литография.
Ну в видео с 02:00:37 https://vk.com/video-215983798_456239047?t=2h37s есть конкретный ответ Николая Ивановича Чхало о причине (не сказать что полной) остановки проекта безмасочной литографии: "В прозапрошлом году в конце года было финансирование НИР по этой теме (примечание : НИР "Ренген-Литограф"), но выиграл МИЭТ ... и всё это дело заглохло. Мы попробовали сделать эту МЭМС с Маппером, но пока не довели ... очень интересные результаты были, но финансирования нет ... Я считаю, что это очень перспективная технология, именно так, как мы её видим, как мы понимаем. Даст Бог - может и получится. Но пока нет МЭМС - про ОКРы говорить нельзя .... Это сложнейшая проблема, это НИРовская проблема".
ПМСМ события будут развиваться так: Геннадий Яковлевич Красников деньгами ни с кем не поделиться. ИФМ уже от темы отодвинули, поэтому Николай Иванович и сотрудничает с Александром Михайловичем Сергеевым с попыткой пропихнуть уже "классический" литограф (вероятность этого события близка к нулю). У МИЭТ сделать самостоятельно свой не получится. Поэтому они хотят купить готовый, китайский или трофейный - не важно.
ПМСМ события будут развиваться так: Геннадий Яковлевич Красников деньгами ни с кем не поделиться. ИФМ уже от темы отодвинули
ИФМ по этой работе также часть денег получил
У МИЭТ сделать самостоятельно свой не получится. Поэтому они хотят купить готовый, китайский или трофейный - не важно
МИЭТ полностью самостоятельно и не планировал его делать
поэтому Николай Иванович и сотрудничает с Александром Михайловичем Сергеевым с попыткой пропихнуть уже "классический" литограф (вероятность этого события близка к нулю).
Каким образом Николай Иванович "сотрудничает с Сергеевым" и что это ему дает? Больше похоже что Николай Иванович рекламирует (и правильно делает) свои проекты, чтобы информация дошла до заинтересованных и пошло полноценное финансирование
Еще летом, общаясь с Mapper-ом, было ощущение, что безмасочный рентген-литограф угасает
В чем это выражалось?
У МИЭТ еще тогда возникли проблемы с МЭМС-зеркалами.
А МИЭТ вообще занимался зеркальной темой? Есть некоторая информация что МИЭТ официально занимался только пропускной маской. И еще до этого НИРа занимался чипом микрофокусных рентгеновских трубок.
Мое мнение, теперь подтвержденное из видео
Какое может быть подтверждение - денег дали недостаточно, времени дали недостаточно , при том что опыта и наработок в этой теме было недостаточно - кто-то ждал результата в виде полностью работоспособного решения?
В чем это выражалось?
В Mapper говорили, что вроде как МИЭТ (сам или с помощью кого-то) сделал апертурную пластину (пластина с дырками без какой-либо управления). Но дальше пошли трудности, сделать пластину с элементами МЭМС оказалась не тоже самое, что сделать апертурную пластину.
А МИЭТ вообще занимался зеркальной темой? Есть некоторая информация что МИЭТ официально занимался только пропускной маской.
Чем конкретно, занимался МИЭТ, сказать, невозможно. Т.к. они, видимо, не очень заинтересованы, чтобы эта информация имела какую-то огласку.
Какое может быть подтверждение - денег дали недостаточно, времени дали недостаточно , при том что опыта и наработок в этой теме было недостаточно - кто-то ждал результата в виде полностью работоспособного решения?
Для рентгеновской оптики пожалуй и в 10х денег, от тех что дали будет недостаточно. Что такое 680млн руб? 10млн долларов. Для того, чтобы сделать прототип рентген аппарата - это очень мало. Для того, чтобы понять, смогут или нет сделать, что и значилось в конкурсной документации - очень много. Сделать апертурную пластину стоит 2-4к долларов, поэкспериментировать с МЭМС 100-400к долларов.
В Mapper говорили, что вроде как МИЭТ (сам или с помощью кого-то) ...
Интересно, почему Mapper вообще в курсе деталей что сделал МИЭТ, если сам МИЭТ борется с оглаской. Или была проработка где делать, и в итоге МИЭТ вроде как на ЗНТЦ все делал.
По некоторой информации МИЭТ занимался только этой самой аппертурной версией. Зеркалами занимался ИФМ с Маппер. Не говорил ли чего Маппер в общем как раз по поводу микрозеркал?
Для того, чтобы сделать прототип рентген аппарата - это очень мало. Для того, чтобы понять, смогут или нет сделать, что и значилось в конкурсной документации - очень много
Почему ж очень мало/много - смотря что включать в работу. В прототип можно включить минимум для показа самой возможности. А в "понять смогут или нет" - нужно найти-собрать (или разработать) соответствующие технологии и попытаться их применить... И количество потенциальных работ в НИР было заявлено ого-го сколько...
Не говорил ли чего Маппер в общем как раз по поводу микрозеркал?
Ну собственно мне не давали, какого-то ни было ни запрета, ни разрешения, для распространения информации. И информация эти типа "сплетни". Единственно, могу сказать, что у МИЭТа возникли серьезные проблемы еще прошлым летом (2022) с МЭМСами и они видимо тыкались везде где можно. А у самого МИЭТа хватило опыта только на апертурную пластину.
И количество потенциальных работ в НИР было заявлено ого-го сколько...
Заявлять можно все что угодно (и понятно, для чего это делается), а проблема, собственно, сводиться к возможности создания МЭМСов и их работоспособности. Если "не надувать щеки" то в 400к долларов вложиться можно - это штук 20-30 запоротых пластин + годовая оплата труда 10 специалистов (хотя зачем их столько? только мешать друг другу будут:)) ). Про зеркала и рентген-источник все бодро докладывали, что все уже работает, по-крайней мере как прототип (а нам, собственно, прототип и нужен)
Если же делать прототип "по-взрослому", а не "подумать смогу или нет", то конечно выделенных денег не хватит.
Немного по работам и выделенным суммам: Доп.соглашение по НИР https://zakupki.gov.ru/44fz/filestore/public/1.0/download/rgk2/file.html?uid=E5DAA540A687B6ADE05334548D0A0D8E
400к долларов вложиться можно - это штук 20-30 запоротых пластин + годовая оплата труда 10 специалистов
Не понятны Ваши расчеты. Годовая оплата 10 специалистов (10*200000*12=24млн р ~ 350т $ ) - указанная Вами сумма только на ЗП этих специалистов уйдет (и это без учета налогов), а есть еще вспомогательный персонал и начальство. В общем, с учетом налогов и накладных расходов сумма вырастет до 1млн $.
Уточните сколько может стоить подготовка к производству (здесь можно выделить 2 различные категории - разработка технологии и изготовление масок), и само производство по неким выбранным технически требованиям.
Единственно, могу сказать, что у МИЭТа возникли серьезные проблемы еще прошлым летом (2022) с МЭМСами и они видимо тыкались везде где можно.
Работы по изготовлению по графику и попадали приблизительно на лето, а осенью заканчивались.
Подскажите - как выглядит работа с Маппер - это чисто производство или разработка под заказ также присутствует? Есть ли в сфере МЭМС производства понятия библиотеки?
В общем, с учетом налогов и накладных расходов сумма вырастет до 1млн $.
Накладные расходы (бухгалтерия, руководство, отопление, техперсонал) а институтах уже существуют и оплачиваются из других статей. Насчет налогов на ЗП это порядка 50%' а как я написал ранее 10 специалистов это с избытком. Обычно разработкой занимаются 2-3 спеца. Но, настаивать не буду, пусть это будет 1млн долларов. Думаю эта сумма на разработку МЭМС и закладывалась, учитывая, как все было «размазано» на разные работы по разным организациям.
Подскажите - как выглядит работа с Маппер - это чисто производство или разработка под заказ также присутствует?
Есть разработка под заказ. Производства логики у них нет, т.к. нет имплантации.
Есть ли в сфере МЭМС производства понятия библиотеки?
Я не специалист по МЭМС, но насколько мне известно, библиотеки нужны для упрощения разработки логики. Это когда на фабе есть отлаженная технология производства «полей» КМОП, а разработчику остается разводить слои металлизации. С МЭМС. это бессмысленно. В МЭМС не делают транзисторных «грядок»' которые потом соединяют. Но, повторюсь, я не специалист по МЭМС, как в прочем и в КМОП, у меня только общие представления.
насколько мне известно, библиотеки нужны для упрощения разработки логики
Не только для логики - это могут быть как некоторые простые элементы, так и различные законченные функциональные блоки (логические и не очень - питание, радиочастотные...).
К МЭМС применить сложнее, конечно. Но все-таки в мире полуляризирована модель предоставления готовых решений, и теоретически здесь также может быть некая библиотека готовых отлаженных решений - подвесов, актуаторов ... или даже готовых цельных элементов - если заказчик, например, хочет получить решение с интегрированными несколькими блоками, но нет интереса заниматься их разработкой в отдельности.
Спасибо огромное за ссылку!
Ну насчет того что стремится у нулю вы немного преувеличиваете скверность ситуации многое зависит от насколько у Сергеева осталось лоббистого ресурса и насколько он готов в вложиться кроме того после ЗНТЦ провалит сроки по окр своих степперов о на их скорее всего провалит если вообще сможет сделать степпер 130нм у Красников с руководством МИЭТа могут появится проблемы.Главный для меня вопрос получится ли собрать у Чхало по сусекам средства для альфы машины вроде вакуумную камеру заказали на свои средства
Ресурс Александр Михайловича виден как по процессу выбора Президента РАН, так и по нынешнему положению НЦФМ. Для справки: чтобы попасть к ним на семинар в марте, заявку нужно было подать ещё в январе. Вообще деньги любят тишину, так что если какой-либо небанальный научный проект начинает пиариться, то в подавляющем большинстве случаев это его инициаторами запущен процесс поиска хоть немного подходящих его масштабу средств.
За Геннадия Яковлевича не беспокойтесь, вся его деятельность за последние 20 лет не даёт сомнений относительно его положения и перспектив. Проблемы у него могут появиться только при катастрофе страны в целом. Но беда в том, что он своими деяниями вероятность этого события существенно увеличивает.
Ответ на Ваш главный вопрос Николай Иванович уже дал: денег на новый НИР нет и не предвидится. Ресурсов ИФМ заведомо не хватит. Головная контора ( https://habr.com/ru/post/699340/comments/#comment_24917130 ) смотрит на этот проект сильно отстранённо. Вариант с переносом основного объёма работ в НЦФМ явно утопический - из-за особенностей Сарова там очень сложно сделать гражданский продукт. Последний известный мне открытый случай - зеркало косого падения для ренгеновского телескопа ART-XC.
Я полностью согласен с Вашим мнением о возможностях реализации проекта электронной много-лучевой литографии:
Вот с этим https://habr.com/ru/news/t/695128/comments/#comment_24856056
и этим
В многолучевой электронной литографии не видно научных проблем, только технологические. Которые в наших условиях вполне преодолимы за разумные сроки при наличии желания и нужных ресурсов.
отсюда https://habr.com/ru/news/t/695128/comments/#comment_24860558
поэтому мы ни начали наш стартап.
А глядя на все происходящее с рентген-литографией в нашей стране, утверждаешься в мысли, что не зря начали.
Спасибо за цикл интересных статей! Полезно знать, а самому откапывать информацию на просторах - некогда…
Разрешите, я тоже вставлю свои пять копеек: «Довольно заметной характеристикой уровня развития технологии, является отсутствие какой-либо информации о борьбе авторов с загрязнение вакуума от испарений фоторезиста…» …электронрезиста.
KLA-Tencor — революция в много-лучевой электронной литографии