Разработкой этой системы занимались давно, еще до меня, так что про то на чем основывались при выборе конкретного исполнения мне уже довольно сложно судить. Возможно просто собирали из того что было. Ну а по факту это система с двумя пушками, питающаяся от стойки электронно-лучевого испарителя, но не использующая развертку, и луч тут греет тигель а не материал в нем. И для напыления подслоя задействована такого рода корзина под материал. А толщина выбрана с расчетом на то чтобы достаточное время не перегорал во время работы. С такой вот штукой работаем, и она свое дело делает. А сам процесс улучшили за последнее время поменяв всю систему откачки, избавившись от дифнасоса (как же прекрасен был процесс его чистки...) и заменив существенную часть вакуумной арматуры.
На днях тут занимались относительно похожим процессом, только в плане изготовления тиглей из вольфрамовой проволоки для установки вакуумного напыления. Не то что бы от проблем с импортом а скорее от того что под нашу задачу не смогли найти что-то подходящее готовое по сколь-нибудь умеренной цене. Ну и в других вопросах относительно оборудования приходится не мало чего самим делать, а сейчас явно станет еще больше.
90нм... 28нм... пойду дальше ковыряться в своих околомикронных ЭМ584 используемых для печати линий задержки и фильтров на пав... но тем не менее, по крайней мере такое у нас еще определенно живо.
Собирал и обслуживаю в данный момент относительно похожую систему на 4021 типоразмере мембраны. При чем в очень критичном применении относительно наличия какой либо живности в получаемой воде. Отмываем в ней заготовки перед нанесением покрытий и если хоть что-то заведется то никакой адгезии не будет. Вполне получается работать без ультрафиолета на связке предфильтров механика+уголь и мембраны набирающей более-менее стандартный гидроаккумулятор. Когда работали на открытый бак над поверхностью воды вешали УФ лампы. Но случались пару раз и критичные проблемы. Завестись уже в после фильтра в системе что-то может если нарушена чистота внутреннего объема. Перед сборкой все промывалось медицинским спиртом и не трогалось без перчаток. Внутренняя поверхность гидроаккумулятора может быть не сильно чистой. В идеале брать такой до которой получится добраться. При этом если в системе застаивается вода то это не лучшая ситуация и она может зацвести. Ну и еженедельно сливали его в 0 (в обычном рабочем цикле все-таки поддерживается отличное от нуля количество воды). Если система стоит длительно без использования то это почти приговор... Ну и еще один момент - не использовать латунные фиттинги без покрытия. Там прямо видно как грязь от их разложения (да, они еще и раствориться могут до протечки), засоряет систему со временем. Так что допустима только нержа, пластик или покрытая латунь. На тему срока жизни мембраны... у нас живет по инструкции 2.5 года. При чем без существенного ухудшения производительности. Но относительно описанной здесь системы у нас еще есть система кранов для переключения входа и слива мембраны местами, которую мы еженедельно минут на 15 включаем наоборот при полном открытии регулятора потока на слив что позволяет смыть накопившиеся на входе залежи.
В первую очередь интересовала разварка при том что мы используем 30мкм алюминий, а не, как я предполагаю, более заметное на снимках золото за счет большего поглощения излучения. Дополнительно какие-либо инородные тела на поверхности кристалла (у нас однослойная ничем не защищенная структура топологии). Возможно трещины в кристалле. В итоге получили более-менее подробное изображение кристалла с различимой структурой 100мкм насечек на нём и клея что максимум бы дало информацию о полном отрыве, неравномерности клея... На топологию мы не расчитывали, слишком она тонкая.
Некоторое время назад попробовал это дело для изучения содежимого металостеклянных корпусов микросхем. Не особенно вдохновил результат. Вот пластиковые скорее всего хорошо бы удалось разглядеть, но такой задачи не стояло.
Разработкой этой системы занимались давно, еще до меня, так что про то на чем основывались при выборе конкретного исполнения мне уже довольно сложно судить. Возможно просто собирали из того что было. Ну а по факту это система с двумя пушками, питающаяся от стойки электронно-лучевого испарителя, но не использующая развертку, и луч тут греет тигель а не материал в нем. И для напыления подслоя задействована такого рода корзина под материал. А толщина выбрана с расчетом на то чтобы достаточное время не перегорал во время работы. С такой вот штукой работаем, и она свое дело делает. А сам процесс улучшили за последнее время поменяв всю систему откачки, избавившись от дифнасоса (как же прекрасен был процесс его чистки...) и заменив существенную часть вакуумной арматуры.
На днях тут занимались относительно похожим процессом, только в плане изготовления тиглей из вольфрамовой проволоки для установки вакуумного напыления. Не то что бы от проблем с импортом а скорее от того что под нашу задачу не смогли найти что-то подходящее готовое по сколь-нибудь умеренной цене. Ну и в других вопросах относительно оборудования приходится не мало чего самим делать, а сейчас явно станет еще больше.
90нм... 28нм... пойду дальше ковыряться в своих околомикронных ЭМ584 используемых для печати линий задержки и фильтров на пав... но тем не менее, по крайней мере такое у нас еще определенно живо.
Собирал и обслуживаю в данный момент относительно похожую систему на 4021 типоразмере мембраны. При чем в очень критичном применении относительно наличия какой либо живности в получаемой воде. Отмываем в ней заготовки перед нанесением покрытий и если хоть что-то заведется то никакой адгезии не будет. Вполне получается работать без ультрафиолета на связке предфильтров механика+уголь и мембраны набирающей более-менее стандартный гидроаккумулятор. Когда работали на открытый бак над поверхностью воды вешали УФ лампы. Но случались пару раз и критичные проблемы. Завестись уже в после фильтра в системе что-то может если нарушена чистота внутреннего объема. Перед сборкой все промывалось медицинским спиртом и не трогалось без перчаток. Внутренняя поверхность гидроаккумулятора может быть не сильно чистой. В идеале брать такой до которой получится добраться. При этом если в системе застаивается вода то это не лучшая ситуация и она может зацвести. Ну и еженедельно сливали его в 0 (в обычном рабочем цикле все-таки поддерживается отличное от нуля количество воды). Если система стоит длительно без использования то это почти приговор... Ну и еще один момент - не использовать латунные фиттинги без покрытия. Там прямо видно как грязь от их разложения (да, они еще и раствориться могут до протечки), засоряет систему со временем. Так что допустима только нержа, пластик или покрытая латунь. На тему срока жизни мембраны... у нас живет по инструкции 2.5 года. При чем без существенного ухудшения производительности. Но относительно описанной здесь системы у нас еще есть система кранов для переключения входа и слива мембраны местами, которую мы еженедельно минут на 15 включаем наоборот при полном открытии регулятора потока на слив что позволяет смыть накопившиеся на входе залежи.
В первую очередь интересовала разварка при том что мы используем 30мкм алюминий, а не, как я предполагаю, более заметное на снимках золото за счет большего поглощения излучения. Дополнительно какие-либо инородные тела на поверхности кристалла (у нас однослойная ничем не защищенная структура топологии). Возможно трещины в кристалле. В итоге получили более-менее подробное изображение кристалла с различимой структурой 100мкм насечек на нём и клея что максимум бы дало информацию о полном отрыве, неравномерности клея... На топологию мы не расчитывали, слишком она тонкая.
Некоторое время назад попробовал это дело для изучения содежимого металостеклянных корпусов микросхем. Не особенно вдохновил результат. Вот пластиковые скорее всего хорошо бы удалось разглядеть, но такой задачи не стояло.