Возрождение идеи рентген-литографии: попытка удешевить 2-нм чипы с помощью компактных ускорителей

Переход к каждому новому техпроцессу в полупроводниковой промышленности сегодня требует все больших вложений. Ну а современные EUV-литографы стоят как небольшой завод — от 200 миллионов долларов за штуку, не считая расходов на обслуживание. В этой ситуации любой альтернативный подход, который обещает снизить затраты, сразу привлекает внимание.
Новинку как раз предлагает команда американского компании Substrate. Разработчики заявили, что могут выпускать чипы класса 2-нм с помощью рентген-литографии на базе компактных ускорителей частиц. Причем все это в десять раз дешевле, чем на современных системах с экстремальным ультрафиолетом. Давайте разберемся, что представляет собой эта технология, откуда она взялась и какие у нее перспективы. Заодно подробнее остановимся на рентген-литографии — ее истории, принципах и причинах возрождения.

















