В новосибирской компании «Оптические технологии» создали лазер для печати микросхем. Лазер работает с помощью ультрафиолетового излучения. По словам создателей, разработка не имеет аналогов в России. «Оптические технологии» рассказали, что новый лазер заменит американские устройства Coherent, работающие на длине волны 257 нанометров. Всё оборудование и фоторезисторы подстроены под это значение.
Как объяснили разработчики, при производстве микросхем нужен фотошаблон. Это тонкая плёнка с рисунком схемы. Её накладывают на кремниевую пластину. Сейчас больше 75% таких шаблонов делают с помощью лазерной литографии. Этот метод наносит изображение на материал с помощью сфокусированного лазера.
Новая система состоит из самого лазера, который даёт мощность 10–30 милливатт, и волоконного усилителя. Усилитель увеличивает мощность до 15 ватт. Внутри установлен кристалл, который меняет частоту лазерного света. Это даёт дополнительное излучение.
Разработан предсерийный прототип. Его будут испытывать на белорусском заводе «Планар». Там делают массовые микросхемы и уже используют другие изделия компании. По словам разработчиков, у прототипа нового лазера низкое энергопотребление — 1 ватт, что в несколько раза меньше, чем у электрочайника. Это снижает затраты на электроэнергию и повышает эффективность.
