![](https://habrastorage.org/r/w780/getpro/habr/upload_files/f47/596/ab3/f47596ab30aadb3c52140a709a562a25.jpg)
Спасибо всем, кто комментирует предыдущую статью ( за исключением хамов ). В том числе, спасибо и тем, кто вступает в дискуссию по поводу изложенного, поскольку это позволяет автору правильнее выбирать наиболее интересную публике информацию.
Перед тем, как перейти непосредственно к описанию термоэмиссионных манометрических датчиков, хочу коснуться на мой взгляд достаточно важной темы, которую надо учитывать всем, кто так или иначе касается вакуумметрических измерений в области высокого или сверхвысокого вакуума. Коротко эту тематику можно сформулировать так: ПРАКТИЧЕСКИ ВСЕ ДАТЧИКИ ВЫСОКОГО И СВЕХВЫСОКОГО ВАКУУМА ИСКАЖАЮТ ( ИЗМЕНЯЮТ ) ВЕЛИЧИНУ ИЗМЕРЯЕМОГО ДАВЛЕНИЯ. Причём, эти влияния на величину давления в системе у разных датчиков различны и изменяются динамически, в том числе даже до направления такого влияния. Чем меньше величина измеряемого давления, тем больше будет влияние самого манометрического датчика на результаты измерений и само измеряемое давление газа в вакуумной системе. Такое влияние, безусловно, зависит и от самой конструкции вакуумной системы ( скорость откачки, проводимость вакуумопроводов, особенности вакуумного датчика, предыдущая динамика изменения давления и газового состава измеряемого вакуума ). И я говорю не про изменения показаний или давления в единицы %, а про то, что в определённых случаях влияние датчика может искажать либо сами показания, либо вообще давление в вакуумной системе в разы или даже больше.
Подобные эффекты, на мой взгляд, не позволяют относится к вакуумным измерениям так, как обыватель относится к измерениям в быту времени или длины. Вакуумные измерения в области высокого и сверхвысокого вакуума обязательно должны рассматриваться, как неотъемлемая часть цепочки высоко-технологических операций, когда даже замена типа датчика ( пусть и на более современный ) есть повод серьёзно уточнять ранее отлаженную технологию.