Комментарии 34
Торт!
Киловатт мощности на маленьком магнетроне - это явно перебор. Видимо, зазор слишком большой был. Для такого размера для металлов нормальное напряжение разряда - вольт 250-300 при давлении 2 мТорра. Ну и тока в 200 мА вполне достаточно.
Не боитесь "засрать" ТМН распыляемым веществом мишени?
А вот тут и поможет азотная ловушка - пусть все на ней оседает. Надо ее вернуть
Распыляемый материал будет прилипать на стенку в любом случае, так что перед ТМНом ставить азотную ловушку не надо, можно просто решетку поставить, чтобы не летело из плазмы. А вот на форлинию лучше поставить мембранник, т.к. масло от форвакуумника будет идти в ТМН и дальше в камеру. Смысла тогда в ТМН нет, вакуум будет масленным. Если нет мембранника, то тогда фильтр поставить, чтобы пары масла улавливать. Ну и зачем вам байпас, можно через ТМН напрямую прекрасно откачивать
Байпас нужен чтобы ТМН не глушить каждый раз. Отсекаешь его - и спокойно напускается атмосфера. Конечно ТМН менее инерционный чем диф, но зачем ждать его полной остановки?
А безмаслянный фор тоже очень хочется, да.
Нет ничего красивее гор и плазмы.)
Моё почтение ) Много интересного впереди )
Главное не заморачиваться с ионным легированием, можно по старинке - жидкие источники, термическая диффузия...
Если в высоковакуумном объеме получится совместить напыление, сканирующий ионный микроскоп/имплантатор ионным легированием(выскоковольтно)/нанесением и резанием (низковольтно), то получится 3D принтер c разрешением порядка 4 нм, одновременно он же ионный микроскоп, если рядом добавить масс-детектор для вторичных ионов (или хотя бы просто детектор микротока вторичных ионов - для ЧБ картинки достаточно).
С такими технологиями экспериментировали лаборатории (ion beam direct writing), можно создать практически любые структуры, но это именно лабораторный вариант, не для массовой печати микросхем.
Устройство одно и тоже, разница только в напряжении ускорения. Насколько я помню, от единиц до десятков вольт - нанесение ионов, порядка тысячи вольт - резание (пучок ионов распыляет подложку), десятки и сотни тысяч вольт - имплантация (ионы пробивают материал и оседают в глубине).
Можно совместить - обычное напыление через маску делает пленочное пятно (разрешение микрометры), а ионный пучок нарезает микроструктуры, с разрешением нанометры. Он же валидирует получившийся рисунок, одновременно являясь ионным микроскопом.
Меняем материал в источнике ионов и у нас получается микро/нано фабрика "все в одном".
Но медленная, лабораторная, не для производства.
На словах "удалось добыть диф насос в металлоломе" сразу всплывают флешбеки 15 летней давности. Я уже тогда хотел добыть такой насос, но все не представлялось случая, хотя на приемках бывал регулярно - сдавал ненужный цветмет. И несколько раз, в разных местах всплывали эти насосы. И не только они - всякое научное оборудование, нержавейка, видно что что-то нестандартное. Были вакуумные камеры с микрометрическими винтами и манипуляторами в вакууме. Я сразу предлагал купить. 3 минуты шушукания приемщика и его начальника по телефону - сразу отказ. Говорю, по цене х10 от веса. Отказ. х50 - отказ.
И так много раз. Этих насосов было у них очень много (с ВУЗов в основном с лабораторий).
Сейчас наверное уже и нет такого на приемках. Такое достают только по очень хорошему блату...
Я уж молчу про турбо. Его цену потянуть немногие могут.
В начале прошлого года, буквально сразу после колонны - я был на металлоприемке и видел JEOL 100CX в полной комплектации. Естественно разобранный на части в состоянии дрова. Мужик хотел очень много денег. Никто ничего у него не купил.
Турбан по знакомству вышел в 80к с доставкой из Японии
Ибо в типовом договоре на утилизацию есть обязательство уничтожения. И за нарушение можно очень быстро лишиться лицензий и поиметь миллионные штрафы. Особенно при работе с государственными организациями.
Если для типовых предметов (оргтехника, мебель и тп) уникальность объектов низка и "очистить" от следов владения легко, то для уникальных - нет. Связь достаточно легко отследить. Рисковать никто не хочет.
Предлагаю вам как-нибудь в камеру поместить фрезу вертикально. Вокруг неё будет красивая плазма. А чтоб вакуум сделать глубже, можно несколько раз продувать камеру азотом. Он как бы ускоряет дегазацию металла. Ну... или дать покачаться камере сутки. А какая в установке частота электрического поля ? Магниты были заводскими или сами ставили ? Там же полюсовка имеею значение. Но я уверен, вы и сами в курсе.
Очень интересно, жду следующих серий.
Снимаю шляпу, вот это автор сильно заморочился.... Жду появления в продаже хэендмейдных прямонакальных триодов, а то 300В слишком уж конской цены стали))
Очень интересно! А как автор собирается это потом использовать? Что напылять-то?
---
Мы как-то делали ваккумную камеру из... этого самого и палок, точнее - корпус старого ЛАТРа накрыли крышкой из оргстекла 30 мм (через резинку) - ну и готово. Попробовали измерять вакуум каким-то похожим вакууметром 60-х годов, потом купили обычный, с цифрами, дошли до 90 Па, нам хватило.
Применимо к ламповому компьютеру - хочу попробовать тонкопленочную память - та самая которая bubble memory - ибо найти 30кб ферритовой памяти, да и еще чтобы тянула 1МГц скорость доступа - нереально. А пузырьковая будет очень малых размеров.
Маньяк в положительном смысле!
Ну у меня была идея - ламповый процессор на основе стеклопакетов. Ну не совсем на их основе, а на идее. Два стекла вакуумом стягиваются через резинку, а между ними - сделанные лазером сетки, аноды.
Разводку всего этого дела кроме катодов планировалось выполнять электронно-лучевой технологией. Сначала магнетронное напыление металла на стекло, затем электронным лучом испаряем последовательно(это важно) ненужные участки.
Не ну а чо, у кинескопов вона какая поверхность была! И ладно бы, что сферическая. Так еще круче топология выйдет)
Да, тогда поездка была очень весёлой. Повторим?)
Могу свести автора с компанией, которая сейчас делает российский литограф на северо -западе Москвы. Где автор сможет стоить настоящий литограф.
Вакуумное магнетронное напыление на дому